| 000 | 00714nam a2200229zi 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 005 | 20230201161139.0 | ||
| 008 | 970106s1983 a 000 0 eng | ||
| 020 | _a0126747806 | ||
| 035 | _aMX001000384854 | ||
| 050 |
_aTP156.V3 _bS87 |
||
| 100 | 0 |
_aStuart, R. V., _eautor |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aVacuum technology, thin films, ans sputtering : _bAn introduction / _cR. v. stuart |
| 300 | _a151 páginas | ||
| 650 | 0 | _aTecnología del vacío | |
| 650 | 0 | _aPelículas delgadas | |
| 650 | 0 | _aPulverización catódica (Metalización) | |
| 264 | 1 |
_aSan diego : _bAcademic, _cc1983 |
|
| 336 |
_atexto _2rdacontent |
||
| 337 |
_asin medio _2rdamedia |
||
| 338 |
_avolumen _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c431 _d431 |
||