| 000 | 01178nam a2200325zi 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 005 | 20230201161214.0 | ||
| 008 | 141124s2013 xxua 000 0 eng | ||
| 020 | _a9781118062777 (encuadernado : papel alcalino) | ||
| 035 | _aMX001001686867 | ||
| 040 |
_aDLC _bspa _erda _cDLC _dUNAMX |
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| 050 | 0 |
_aTS695 _bK33 2013 |
|
| 100 | 1 |
_aKääriäinen, Tommi, _eautor |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aAtomic layer deposition : _bprinciples, characteristics, and nanotechnology applications / _cTommi Kääriäinen, David Cameron, Marja-Leena Kääriäinen, and Arthur Sherman |
| 250 | _a2nd Edition | ||
| 300 |
_axv, 253 páginas : _bilustraciones |
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| 650 | 0 | _aDeposición química de vapor | |
| 650 | 0 | _aEpitaxia | |
| 650 | 0 | _aMicroelectrónica | |
| 650 | 0 | _aNanotecnología | |
| 650 | 0 | _aDeposición atómica por capas | |
| 700 | 1 |
_aCameron, David, _d1949-, _eautor |
|
| 700 | 1 |
_aKääriäinen, Marja-Leena, _eautor |
|
| 700 | 1 |
_aSherman, Arthur, _d1931-, _eautor |
|
| 264 | 1 |
_aBeverly, MA : _bScrivener Publishing, _c[2013] |
|
| 264 | 4 | _c©2013 | |
| 336 |
_atexto _2rdacontent |
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| 337 |
_asin medio _2rdamedia |
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| 338 |
_avolumen _2rdacarrier |
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| 999 |
_c3658 _d3658 |
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