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_bC35
100 1 _aChapman, Brian,
_d1923-
_eautor
245 1 0 _aGlow discharge processes :
_bsputtering and plasma etching /
_cBrian Chapman
300 _a406 páginas
650 4 _aDescargas luminosas
650 4 _aPulverización catódica (Física)
264 1 _aNew York :
_bWiley,
_cc1980
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