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|---|---|---|---|
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| 020 | _a9783540766629 (empastado, cubierta dura) | ||
| 020 | _a3540766626 (empastado, cubierta dura) | ||
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| 040 |
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| 050 | 4 |
_aTS695 _bR43 |
|
| 082 | 0 | 4 |
_a621.38152 _222 |
| 245 | 0 | 0 |
_aReactive sputter deposition / _cD. Depla, S. Mahieu, editors |
| 300 |
_axviii, 570 páginas : _bhojas (algunas a color) |
||
| 490 | 0 |
_aSpringer series in materials science ; _v109 |
|
| 650 | 4 | _aPulverización catódica (Metalización) | |
| 650 | 4 | _aPelículas delgadas | |
| 700 | 1 |
_aDepla, D. _q(Diederik), _eeditor |
|
| 700 | 1 |
_aMahieu, S. _q(Stijn), _eeditor |
|
| 830 | 0 |
_aSpringer series in materials science _x0933-033X |
|
| 264 | 1 |
_aBerlin : _bSpringer Verlag, _cc2008 |
|
| 336 |
_atexto _2rdacontent |
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| 337 |
_asin medio _2rdamedia |
||
| 999 |
_c3245 _d3245 |
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