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_bH35
245 0 0 _aHandbook of thin film process technology /
_ceds. David A Glocker, S. Ismat Shah
300 _a1 volumen (en varias paginaciones)
650 _aPelĂ­culas delgadas
_vManuales, etc.
650 _aSuperficies (TecnologĂ­a)
_vManuales
700 _aGlocker, David A.
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264 1 _aBristol :
_bInstitute of Physics,
_cc1995
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