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| 050 |
_aTK7867 _bC473 |
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| 245 | 0 | 4 |
_aThe chemistry of Metal CVD / _ced. by Toivo Kodas and Mark Hampden-Smith |
| 300 | _a530 páginas | ||
| 650 | _aDiseño de circuitos electrónicos | ||
| 650 | _aDeposición química de vapor | ||
| 650 | _aPelículas metálicas | ||
| 700 |
_aKodas, Toivo _eeditor |
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| 700 |
_aHampden-Smith, Mark J., _eeditor |
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| 264 | 1 |
_aWeinheim : _bVch, _c1994 |
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_asin medio _2rdamedia |
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_avolumen _2rdacarrier |
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| 999 |
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