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_aKonuma, Mitsuharu _d1950-, _eautor |
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_aFilm deposition by plasma techniques / _cMitsuharu konuma |
| 300 | _aix, 224 páginas | ||
| 490 | 0 |
_aSpringer series on atoms + plasmas ; _v10 |
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| 650 | _aPelículas delgadas | ||
| 650 | _aDeposición química de vapor asistida por plasma | ||
| 264 | 1 |
_aBerlin : _bSpringer Verlag, _cc1992 |
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_asin medio _2rdamedia |
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