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		Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing / eds. Gregg S. Higashi, Eugene A. Irene, Tadahiro Ohmi por Higashi, Gregg S [editor] \| Irene, Eugene A [editor] \| Ohmi, Tadahiro, 1939- [editor] \| Materials Research Society. Meeting # (1993 : San Francisco, California). Symposium Y \| Materials Research Society. Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Editor: Pittsburgh, Pennsylvania : Materials Research Society, c1993Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TK7871.85 S84. Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
		Ultraclean surface processing of silicon wafers : secrets of VLSI manufacturing / Takeshi Hattori (ed.) por Hattori, Takeshi, 1945- [editor]. Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Idioma: ENG Editor: Berlin : Springer Verlag, c1998Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TK7871.85 U57. Hacer reserva Agregar al carrito (remover)

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