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Field guide to optical lithography / Chris A. Mack

por Mack, Chris A [autor].

Series SPIE field guides ; FG06Tipo de material: Texto Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Editor: Bellingham, Washington : SPIE, 2006Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TK7874 M165.

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Handbook of vlsi microlithography : Principles, technology, and applications / Ed. by William b. glendinning, John n. helbert

por Glendinning, William B [editor] | Helbert, John N [editor].

Tipo de material: Texto Texto; Formato: impreso Editor: Park ridge, new yersey : Noyes, 1991Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TK7874 H359.

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Microlithography : science and technology / edited by Kazuaki Suzuki, Bruce W. Smith.

por Suzuki, Kazuhiro [editor] | Smith, Bruce W, 1959- [editor].

Series Optical science and engineering ; 126Edición: 2nd ed.Tipo de material: Texto Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Editor: Boca Ratón, Florida : CRC Press, c2007Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TK7836 M534 2007.

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Nanopatterning--from ultralarge-scale integration to biotechnology : symposium held November 25-29, 2001, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, Lhadi Merhari ... [y otros.]

por Symposium Y, "Nanopatterning--From Ultralarge-Scale Integration to Biotechnology" (2001 : Boston, Massachussetts) | Merhari, Lhadi [editor].

Series Materials Research Society symposium proceedings ; v. 705Tipo de material: Texto Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Idioma: ENG Editor: Warrendale : Materials Research Society, c2002Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: QC176.8N35 S948.

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