Handbook of thin-film deposition processes and techniques :  principles, methods, equipment and applications / 
ed. by Klaus K. Schuegraf 
 - xviii, 413 páginas 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0815511531 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Dispositivos de películas delgadas--Diseño y construcción--Manuales
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7872.P45  / H35