TY  - BOOK
AU  - Mort, J.
AU  - Jansen Frank
TI  - Plasma deposited thin films
SN  - 0849351197
AV  - TK7872.P45 P53
PY  - 1986///
CY  - Boca Raton, Florida
PB  - CRC Press
KW  - Ingeniería del plasma
KW  - Galvanoplastia al vapor
KW  - Dispositivos de películas delgadas
ER  -