TY  - BOOK
AU  - Wilson, Robert G.,
AU  - Brewer, George Raymond,
TI  - Ion beams: With applications to ion implantation 
SN  - 0882758993
AV  - TK7871.85 W54 1979
PY  - 1979///
CY  - Malabar, Florida
PB  - R. E. Krieger
KW  - Microelectrónica
KW  - Semiconductores
KW  - Implantación de iones
ER  -