Wilson, Robert G., <br/><br/>
Ion beams :  With applications to ion implantation / 
Robet g. Wilson, George r. brewer 
 - # reprint with corrections 
 - 500 páginas 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0882758993 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Microelectrónica<br/>Semiconductores<br/>Implantación de iones
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.85  / W54 1979