TY - BOOK AU - Kelly, Roger AU - Auciello,Orlando TI - Ion bombardment modification of surfaces: Fundamentals and applications T2 - Beam modification of materials SN - 0444423656 AV - TA418.7 I64 PY - 1984/// CY - Amsterdam PB - Elsevier KW - Bombardeo iónico KW - Implantación de iones KW - Superficies (Tecnología) KW - Pulverización catódica (Física) ER -