TY  - BOOK
AU  - Stuart, R. V.,
TI  - Vacuum technology, thin films, ans sputtering: An introduction 
SN  - 0126747806
AV  - TP156.V3 S87
PY  - 1983///
CY  - San diego
PB  - Academic
KW  - Tecnología del vacío
KW  - Películas delgadas
KW  - Pulverización catódica (Metalización)
ER  -