TY  - SER
ED  - American Vacuum Society.
TI  - Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena
SN  - 1071-1023
AV  - TJ940 
U1  - 621.381 
PY  - 1991///-
CY  - New York, N.Y.
PB  - American Institute of Physics
KW  - Tecnología del vacío
KW  - Microelectrónica
KW  - Nanopartículas
KW  - Medicion
N1  - Titulo de la cubierta; Tambien disponible en PDF y Postscript formats via WWW
ER  -