TY  - SER
ED  - American Vacuum Society
ED  - American Institute of Physics
TI  - Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films
SN  - 0734-2101
AV  - TJ940 
U1  - 621.5 
PY  - 1983///-
CY  - New York, N.Y.
PB  - American Institute of Physics
KW  - Tecnología del vacío
N1  - Título de la cubierta; Inicia en 1983 con el vol. 1, no. 1; Chemical abstracts; Algunos números acompañados de suplementos; También disponible vía Internet; Editada también en micropelícula
ER  -