TY  - BOOK
AU  - Poate, John Milo,
AU  - Williams, James Stanislaus,
TI  - Ion implantation and beam processing
SN  - 0127569804
AV  - QC702.I55 I58
PY  - 1984///
CY  - Sydney
PB  - Academic
KW  - Bombardeo iónico
KW  - Haces electrónicos
KW  - Implantación de iones
KW  - Semiconductores impuros
ER  -