Ion implantation and beam processing / 
ed, by J. S. Williams, J. M. Poate 
 - 419 páginas 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0127569804 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Bombardeo iónico<br/>Haces electrónicos<br/>Implantación de iones<br/>Semiconductores impuros
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>QC702.I55  / I58