Franssila, Sami, Introduction to microfabrication / Sami Franssila - 2nd. edition - xiv, 518 páginas : ilustraciones ISBN: 0470749830 9780470749838 Subjects--Topical Terms: Sistemas microelectromecánicosAparatos e instrumentos electrónicosMicrofabricación LC Class. No.: TK7875 / F73 2010