TY  - BOOK
AU  - Kääriäinen,Tommi
AU  - Cameron,David
AU  - Kääriäinen,Marja-Leena
AU  - Sherman,Arthur
TI  - Atomic layer deposition: principles, characteristics, and nanotechnology applications 
SN  - 9781118062777 (encuadernado : papel alcalino)
AV  - TS695 K33 2013
PY  - 2013///]
CY  - Beverly, MA
PB  - Scrivener Publishing
KW  - Deposición química de vapor
KW  - Epitaxia
KW  - Microelectrónica
KW  - Nanotecnología
KW  - Deposición atómica por capas
ER  -