TY  - BOOK
AU  - Chapman,Brian
TI  - Glow discharge processes: sputtering and plasma etching 
SN  - 047107828x
AV  - QC702.7P6 C35
PY  - 1980///
CY  - New York
PB  - Wiley
KW  - Descargas luminosas
KW  - Pulverización catódica (Física)
ER  -