TY  - BOOK
AU  - Mack,Chris A.
TI  - Field guide to optical lithography
T2  - SPIE field guides
SN  - 0819462071
AV  - TK7874 M165
U1  - 621.3815/31 22
PY  - 2006///
CY  - Bellingham, Washington
PB  - SPIE
KW  - Circuitos integrados
KW  - Diseño y construcción
KW  - Microlitografía
ER  -