Mack, Chris A., <br/><br/>
Field guide to optical lithography / 
Chris A. Mack 
 - xii, 122 páginas :  ilustraciones 
 - SPIE field guides ;  FG06 .
<br/><br/><label>ISBN: </label>0819462071 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Circuitos integrados--Diseño y construcción<br/>Microlitografía
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7874  / M165 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/31