Reactive sputter deposition / 
D. Depla, S. Mahieu, editors 
 - xviii, 570 páginas :  hojas (algunas a color) 
 - Springer series in materials science ;  109 .
 - Springer series in materials science .
<br/><br/><label>ISBN: </label>9783540766629 (empastado, cubierta dura) 3540766626 (empastado, cubierta dura) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Pulverización catódica (Metalización)<br/>Películas delgadas
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TS695  / R43 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.38152