TY - BOOK AU - Yao,Nan TI - Focused ion beam systems: basics and applications SN - 9780521831994 (encuadernado) AV - QC702.7B65 F63 PY - 2007/// CY - Cambridge PB - Cambridge University Press KW - Haces de iones focalizados KW - Aplicaciones industriales KW - Bombardeo iĆ³nico ER -