Interlayer dielectrics for semiconductor technologies / 
edited by S. P. Murarka, M. Eizenberg, A. K. Sinha 
 - xiv, 444 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0125112211 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Láminas semiconductoras<br/>Dieléctricos
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.85  / I576