TY  - BOOK
AU  - Barnat,Edward V.
AU  - Lu,Toh-Ming
TI  - Pulsed and pulsed bias sputtering: principles and applications 
SN  - 140207543X
AV  - TS695 B37
U1  - 621.3815/2 21
PY  - 2003///
CY  - Boston
PB  - Kluwer Academic
KW  - Pulverización catódica (Metalización)
KW  - Películas delgadas
ER  -