TY - BOOK AU - González-Elipe,A.R. AU - Yubero,F. AU - Sanz,Jose Maria TI - Low energy ion assisted film growth SN - 1860943519 AV - QC176.84R3 G65 PY - 2003/// CY - London PB - Imperial College Press KW - Películas delgadas KW - Efecto de radiacion en KW - Diseño y construccion ER -