TY  - BOOK
AU  - Brice, David K.,
AU  - Winterban, K. Bruce
TI  - Ion implantation range and energy deposition distributions
SN  - 0306674017
AV  - QC702.7I6 B74
PY  - 1975///
CY  - New York
PB  - Ifi/plenum
KW  - Implantación de iones
N1  - Contenido: v.1. high incident ion energies.-- v.2. low incident ion energies
ER  -