TY - BOOK AU - Seshan,Krishna TI - Handbook of thin-film deposition processes and techniques: principles, methods, equipment and applications SN - 0815514425 AV - TK7872.P45 H35 2002 PY - 2002/// CY - Norwich, New York PB - Noyes, W. Andrew KW - Dispositivos de películas delgadas KW - Diseño y construcción KW - Manuales ER -