TY  - BOOK
AU  - Seshan,Krishna
TI  - Handbook of thin-film deposition processes and techniques: principles, methods, equipment and applications 
SN  - 0815514425
AV  - TK7872.P45 H35 2002
PY  - 2002///
CY  - Norwich, New York
PB  - Noyes, W. Andrew
KW  - Dispositivos de películas delgadas
KW  - Diseño y construcción
KW  - Manuales
ER  -