Handbook of thin-film deposition processes and techniques :  principles, methods, equipment and applications / 
edited by Krishna Seshan 
 - 2nd ed. 
 - 629 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0815514425 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Dispositivos de películas delgadas--Diseño y construcción--Manuales
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7872.P45  / H35 2002