TY  - BOOK
AU  - Hattori,Takeshi
TI  - Ultraclean surface processing of silicon wafers: secrets of VLSI manufacturing 
SN  - 3540616721 (papel alcalino)
AV  - TK7871.85 U57
U1  - 621.3815/2 21
PY  - 1998///
CY  - Berlin
PB  - Springer Verlag
KW  - Láminas semiconductoras
KW  - Limpieza
KW  - Silicio
KW  - Superficies
KW  - Tratamiento de superficies
N1  - Incluye referencias bibliograficas e indice
ER  -