Ultraclean surface processing of silicon wafers :  secrets of VLSI manufacturing / 
Takeshi Hattori (ed.) 
 - xxviii, 616 páginas :  ilustraciones ; 
<br/><br/>Incluye referencias bibliograficas e indice 
<br/><br/><label>ISBN: </label>3540616721 (papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Láminas semiconductoras--Limpieza<br/>Silicio--Superficies<br/>Tratamiento de superficies
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.85  / U57 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/2