Selected papers on optical methods in surface metrology / Optical methods in surface metrology David J. Whitehouse, ed. - xxi, 638 páginas : ilustraciones ; - SPIE milestone series ; v. MS 129 . Incluye referencias bibliograficas e indice ISBN: 0819423475 (papel alcalino) Subjects--Topical Terms: Superficies (Tecnología)--MediciónMedidas ópticas LC Class. No.: TA418.7 / S45 1996 Dewey Class. No.: 620/.44