TY  - BOOK
AU  - Popov,Oleg A.
TI  - High density plasma sources: design, physics, and performance 
T2  - Materials science and process technology series
SN  - 0815513771
AV  - QC718.5D4 H54
U1  - 621.044 20
PY  - 1995///
CY  - Park Ridge, New Jersey
PB  - Noyes
KW  - Densidad del plasma
KW  - Generadores de plasma
KW  - Plasmas a altas temperaturas
N1  - Incluye referencias bibliograficas e indices
ER  -