High density plasma sources :  design, physics, and performance / 
edited by Oleg A. Popov 
 - xx, 445 páginas :  ilustraciones ; 
 - Materials science and process technology series .
<br/><br/>Incluye referencias bibliograficas e indices. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0815513771 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Densidad del plasma<br/>Generadores de plasma<br/>Plasmas a altas temperaturas
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>QC718.5D4  / H54 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.044