Herman, Irving P., <br/><br/>
Optical diagnostics for thin film processing / 
Irving P. Herman 
 - xxix, 783 páginas :  ilustraciones ; 
<br/><br/> Incluye referencias bibliograficas e indices 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0123420709 (papel libre de acido) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Peliculas delgadas--Superficies<br/>Espectroscopía--Aplicaciones industriales
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>QC176.84S93  / H47 1996 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/2/0287