TY  - BOOK
AU  - Glocker, David A.
AU  - Shah, S. Ismat
TI  - Handbook of thin film process technology
SN  - 0750303115
AV  - TK787.15F5 H35
PY  - 1995///
CY  - Bristol
PB  - Institute of Physics
KW  - Películas delgadas
KW  - Manuales, etc
KW  - Superficies (Tecnología)
KW  - Manuales
ER  -