Handbook of thin film process technology / 
eds. David A Glocker, S. Ismat Shah 
 - 1 volumen (en varias paginaciones) 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0750303115 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Películas delgadas--Manuales, etc.<br/>Superficies (Tecnología)--Manuales
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK787.15F5  / H35