TY  - BOOK
AU  - Kodas, Toivo
AU  - Hampden-Smith, Mark J.,
TI  - The chemistry of Metal CVD
SN  - 3527290710
AV  - TK7867 C473
PY  - 1994///
CY  - Weinheim
PB  - Vch
KW  - Diseño de circuitos electrónicos
KW  - Deposición química de vapor
KW  - Películas metálicas
ER  -