The chemistry of Metal CVD / 
ed. by Toivo Kodas and Mark Hampden-Smith 
 - 530 páginas 
<br/><br/><label>ISBN: </label>3527290710 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Diseño de circuitos electrónicos<br/>Deposición química de vapor<br/>Películas metálicas
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7867  / C473