TY  - BOOK
AU  - Higashi, Gregg S.,
AU  - Irene,Eugene A.
AU  - Ohmi, Tadahiro,
ED  - Materials Research Society.
ED  - Materials Research Society
TI  - Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing
SN  - 1558992138
AV  - TK7871.85 S84
PY  - 1993///
CY  - Pittsburgh, Pennsylvania
PB  - Materials Research Society
KW  - Semiconductores
KW  - Diseño y construccion
KW  - Congresos
KW  - Tratamiento de superficies
KW  - Limpieza
KW  - Química de superficies
N1  - Symposium Y celebrado durante la primavera de 1993 en la Meeting of the Materials Research Society, celebrado en San Francisco de abril 13-15, 1993
ER  -