Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing / 
eds. Gregg S. Higashi, Eugene A. Irene, Tadahiro Ohmi 
 - xi, 515 páginas 
<br/><br/> Symposium Y celebrado durante la primavera de 1993 en la Meeting of the Materials Research Society, celebrado en San Francisco de abril 13-15, 1993 
<br/><br/><label>ISBN: </label>1558992138 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Semiconductores--Diseño y construccion--Congresos<br/>Tratamiento de superficies--Congresos<br/>Semiconductores--Limpieza--Congresos<br/>Química de superficies--Congresos
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.85  / S84