TY  - BOOK
AU  - Konuma, Mitsuharu
TI  - Film deposition by plasma techniques
T2  - Springer series on atoms + plasmas
SN  - 3540540571
AV  - TK7871.15F5 K65
PY  - 1992///
CY  - Berlin
PB  - Springer Verlag
KW  - Películas delgadas
KW  - Deposición química de vapor asistida por plasma
ER  -