Konuma, Mitsuharu  1950-, <br/><br/>
Film deposition by plasma techniques / 
Mitsuharu konuma 
 - ix, 224 páginas 
 - Springer series on atoms + plasmas ;  10 .
<br/><br/><label>ISBN: </label>3540540571 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Películas delgadas<br/>Deposición química de vapor asistida por plasma
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.15F5  / K65