Wasa, Kiyotaka, <br/><br/>
Handbook of sputter deposition technology :  Principles, technology, and applications / 
By kiyotaka wasa, shigeru hayakawa 
 - 304 páginas 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0815512805 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Pulverización catódica (Metalización)<br/>Películas delgadas
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TS695  / W37 1992