TY  - BOOK
AU  - Glendinning, William B.,
AU  - Helbert, John N.,
TI  - Handbook of vlsi microlithography: Principles, technology, and applications 
SN  - 0815512813
AV  - TK7874 H359
PY  - 1991///
CY  - Park ridge, new yersey
PB  - Noyes
KW  - Circuitos integrados en muy gran escala
KW  - Microlitografía
ER  -