Handbook of vlsi microlithography :  Principles, technology, and applications / 
Ed. by William b. glendinning, John n. helbert 
 - xxii, 649 páginas 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0815512813 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Circuitos integrados en muy gran escala<br/>Microlitografía
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7874  / H359