TY  - BOOK
AU  - Lucovsky, G.
AU  - Ibbtson, Dale E.
AU  - Hess, Dennis W.,
ED  - Materials Research Society
TI  - Characterization of plasma-enhanced cvd processes: Symposium held november 27-28, 1989, boston, massachusetts, usa 
T2  - Materials Research Society symposium proceedings
SN  - 1558990534
AV  - TS695.15 C43
PY  - 1990///
CY  - Pittsburgh, pennsylvania
PB  - Materials research society
KW  - Deposición química de vapor asistida por plasma
KW  - Congresos
KW  - Circuitos integrados
KW  - Diseño y construcción
ER  -